证券之星音问，把柄天眼查APP数据露出芯动联科(688582)新得到一项发明专利授权，专利名为“一种具有TSV结构的MEMS芯片过甚圆片级气密性封装措施”，专利苦求号为CN201911125646.1，授权日为2025年1月7日。

专利撮要：本发明公开了一种具有TSV结构的MEMS芯片过甚圆片级气密性封装措施，本发明的MEMS芯片白丝 porn，在盖板的深槽内壁上笼罩一层绝缘氧化层，使其成为氧化深槽，并在氧化深槽内充满深槽多晶硅，成为TSV结构，MEMS结构的电信号既不错通过第一键合金属块和TSV导电柱联结到顶层金属图形上，也不错通过第二键合金属块、金属导线和深槽多晶硅联结到顶层金属图形上，达到了一个TSV结构导通二路电信号的标的。本发明的措施仅在盖板圆片制作舛错增多了蚀刻盖板下凹腔一个加工工序，就在深槽内壁笼罩绝缘氧化层酿成氧化深槽，并在氧化深槽内充满深槽多晶硅，酿成TSV结构，达到一个TSV结构导通二路电信号的标的，制造工艺浅易，得到的MEMS芯片体积小，资本低。

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本年以来芯动联科新得到专利授权2个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面参预了5371.73万元，同比增61.84%。

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